廣泛應(yīng)用于精密電子制造,半導(dǎo)體晶圓制造,大規(guī)模集成電路,生物制造、潔凈實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域。
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設(shè)備特點(diǎn):
本設(shè)備包含鈑金箱體、加熱系統(tǒng)、熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),溫度控制系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、充氮系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)。采用先進(jìn)的鈑金焊接加工技術(shù),結(jié)合工業(yè)級(jí)智能精密控溫技術(shù),采用環(huán)保節(jié)能設(shè)計(jì),進(jìn)口耐高溫過濾器,設(shè)備密封性好、機(jī)械強(qiáng)度高、高潔凈度、易操控、高穩(wěn)定性、安全性,符合國(guó)際審美觀的標(biāo)準(zhǔn)化整體式結(jié)構(gòu)箱體;具有操作簡(jiǎn)便、控制系統(tǒng)自動(dòng)化程度高、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定、無故障運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),產(chǎn)品達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。
外箱體材料使用1.2mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑。內(nèi)膽材料使用1.2mm~1.5mm厚SUS304#鏡面潔凈不銹鋼板。絕熱保溫材料使用100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。使用進(jìn)口溫度控制器,控溫精度0.3級(jí),溫度分辨率±0.1℃,PID智能演算,自動(dòng)恒溫,超溫抑制,傳感器斷線警報(bào),斷電記憶,控溫精準(zhǔn),操控簡(jiǎn)便,可選程序控溫功能或液晶屏幕顯示。
采用耐高溫高效過濾器,過濾等級(jí)H13(99.95% -99.99% @0.3um)。配置進(jìn)口耐高溫超細(xì)纖維芯材,連續(xù)耐溫300℃,不銹鋼外框,鋁箔隔層,進(jìn)口高溫陶瓷膠密封。門邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條。當(dāng)設(shè)備開啟,熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)啟動(dòng),熱風(fēng)循環(huán)通過高效過濾器H.E.P.A實(shí)現(xiàn)箱內(nèi)自凈化。
技術(shù)參數(shù):
潔凈度 | Class 1000/Class 10000 千/萬級(jí)無塵潔凈烘箱 | ||||
電源 | 220V 50HZ | ||||
功率 | 1KW | 1.5KW | 2KW | 2.5KW | |
工作環(huán)境溫度 | 5℃-35℃ | ||||
性能 | 溫度范圍 | +20℃-+250℃ | |||
溫度波動(dòng)度 | ±0.5℃ | ||||
溫度均勻性 | 200℃±3℃/300℃±4℃ | ||||
升溫時(shí)間 | 40分鐘以內(nèi)(室溫-300℃) | ||||
結(jié)構(gòu) | 外殼 | 防銹處理冷軋鋼板 內(nèi)外表面靜電噴塑處理 | |||
內(nèi)膽 | SUS304不銹鋼 | ||||
隔熱材料 | 玻璃棉 | ||||
加熱器 | 覆套式電熱器 | ||||
進(jìn)氣口 | 8MM | ||||
出氣口 | 5MM 自動(dòng)開啟排風(fēng)閥門 | ||||
溫度控制系統(tǒng) | 調(diào)節(jié)方式 | PID控制方式 | |||
運(yùn)轉(zhuǎn)方式 | 定值運(yùn)轉(zhuǎn) 程序運(yùn)轉(zhuǎn) | ||||
設(shè)定范圍 | 0℃-250℃ | ||||
設(shè)定方式 | 數(shù)字式 | ||||
顯示方式 | LED數(shù)字顯示 觸摸屏顯示 | ||||
傳感元件 | K型熱電偶 | ||||
安全保護(hù) | 輸入斷線檢測(cè)功能 上限溫度過熱報(bào)警 蜂鳴器報(bào)警 自行診斷 | ||||
定時(shí)功能 | 0.1-999.9H | ||||
安全裝置 | 電機(jī)溫度保護(hù)開關(guān) 溫度保險(xiǎn)絲 獨(dú)立防止溫度過升裝置 | ||||
隔板承載 | 30KG | ||||
內(nèi)容積 | 30L | 70L | 140L | 240L | |
重量 | 50KG | 70KG | 80KG | 90KG | |
內(nèi)部尺寸 mm | 340*320*320 | 400*500*350 | 450*550*550 | 500*750*600 | |
外部尺寸 mm | 530*700*500 | 600*900*530 | 650*950*730 | 700*1150*780 |